Термомассовый расходомер Brooks 5850EM
Описание
Массовые регуляторы расхода серии 5850EM с металлическим уплотнением измеряют и контролируют потоки газа высокого давления в сверхчистых средах с проверенной стабильностью, основанной на характеристиках широко используемых МФК серии 5850E и i. Металлическая герметичная конструкция и электрополированные смачиваемые поверхности обеспечивают исключительную целостность потока и помогают повысить общую эффективность процесса, устраняя необходимость постоянного контроля и перенастройки давления газа для обеспечения стабильного потока газа.
Описание расходомера Brooks 5850EM
- Долгосрочная стабильность нуля <0,2% полной шкалы в год
- Время установления до изменения команды <3 секунд с незначительным перерегулированием/недорегулированием
- Широкий диапазон расхода — от 3 куб. см до 30 000 сл/мин
- Высокое давление — до 1 500 psi
- Опциональная улучшенная внутренняя отделка — 5 мк дюймов Ra в среднем
- Съемный датчик расхода
- Нечувствителен к положению при монтаже
- Механически и электрически совместим с другими контроллерами массового расхода
- TTL совместимая функция «отключения клапана» и продувки
Преимущества
- Цельнометаллический проточный канал повышает чистоту газа и снижает утечки
- Доказанная долгосрочная стабильность и точность в широком диапазоне процессов и применений
- Отличная окупаемость инвестиций благодаря надежной работе
- Съемный датчик расхода устраняет необходимость постоянного контроля и корректировки давления газа
- Простота установки и обслуживания благодаря наличию только аналоговых входов/выходов
Сферы применения
- Волоконная оптика
- СВЕТОДИОДЫ / MOCVD
- Полупроводники
- Солнечные батареи
Технические характеристики Brooks 5850EM
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | Большая установленная база с проверенной долгосрочной производительностью |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 3 см3/мин — 30 000 см3/мин |
| Точность | 1% FS вкл. линейность 1,5% FS вкл. линейность >20 ст.л/мин |
| Повторяемость | 0,2% от ставки |
| Линейность | ±0,5% полной шкалы (учитывается погрешность) |
| Время отклика | Нормально закрытый клапан: <3 сек. Опционально: 600 мс |
| Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | — |
| Нечувствительность к скачкам давления | — |
| Диапазон управления | 2-3% — 100% |
| Количество бункеров | Н/Д |
| Клапан закрыт | Н/Д |
| Нулевая стабильность | < ±0,5% полной шкалы в год |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | 316L VAR, 316L и высоколегированная ферритная нержавеющая сталь |
| Смачиваемые материалы | Седло клапана : 316L, фторэластомеры Viton®, Buna-N , Kalrez® или Teflon® |
| Опции клапана | нормально закрытый, нормально открытый Счетчик (без клапана) |
| Коэффициенты | |
| Максимальная температура | 65 o С |
| Диапазон дифференциального давления | 5–50 фунтов на квадратный дюйм (зависит от газа и диапазона) |
| Максимальное давление | 1500 фунтов на квадратный дюйм |
| Утечка целостности | 1×10 -10 атм см3/с He |
| Диагностика и отображение | |
| Диагностические возможности | — |
| Индикаторы состояния | Состояние MFC, состояние сети |
| будильники | Выход регулирующего клапана, прерывание сети |
| Диагностический/служебный порт | Н/Д |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 4-20 мА 0-5 В постоянного тока |
| Цифровая связь | — |
| Электрическое подключение | 15-контактный D-разъем (DA-15P) |
| Электропитание/потребление | Нормально закрытый клапан: 3,25 Вт Нормально открытый клапан: 10,5 Вт |
| Сертификаты соответствия | |
| EMC | (89/336/ЕЭС) по 61326 |
| Экологическое соответствие | Н/Д |
Характеристики
| Модель | 5850EM |
