Термомассовый расходомер Brooks GF100
Описание
Быстрое реагирование, воспроизводимая подача технологических газов с высоким и сверхвысоким уровнем чистоты — именно такие характеристики обеспечивают массовые регуляторы расхода и измерительные приборы серии GF100 с металлическим уплотнением. Разработанная для полупроводников, MOCVD и других приложений управления потоком газа, серия GF100 превосходит стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяющиеся, высокостабильные характеристики в течение долгого времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газов и комбинаций диапазонов, не отсоединяя его от газовой линии и не снижая точности.
Описание расходомера Brooks GF100
- Долгосрочная стабильность нуля <±0,5% полной шкалы в год
- Время установления: 300 мс — <700 мс или 700 мс — <1 секунда
- Скорость полномасштабного потока до 300 сл/мин
- Проточный канал с цельнометаллическим уплотнением: возможность выбора поверхности с шероховатостью 4µ или 10µ дюймов Ra
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- Возможность программирования газа и диапазона MultiFloTM — одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без отсоединения MFC от газовой линии или ухудшения точности
- Локальный дисплей
- Опциональная подача газа SDS
- DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol и аналоговые интерфейсы
Преимущества
- Высокопроизводительные компоненты прошли марафонские испытания на надежность, превышающую в семь раз стандарты полупроводниковой промышленности
- Полностью металлический, устойчивый к коррозии проточный канал с уменьшенной площадью поверхности и незаполненными объемами обеспечивает более быстрое осушение во время этапов продувки.
- Благодаря MultiFloTM новые технологические газы и/или диапазоны могут быть установлены менее чем за 60 секунд — больше не нужно снимать и калибровать MFC.
- Высококонфигурируемая платформа позволяет заменять и модернизировать большинство марок металлических герметичных MFC, включая бывшие марки Celerity, Mykrolis, Tylan и UNIT.
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) — это современный контроллер массового расхода компании Brooks с низким перепадом давления для подачи газов с системой безопасной доставки (SDS) в субатмосферных условиях, используемых в процессах имплантации и травления.
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт облегчают установку, мониторинг и устранение неисправностей устройства
Сферы применения
- Инструменты для травления полупроводников
- Системы тонкопленочного химического осаждения из паровой фазы (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
- Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD)
- Системы эпитаксиального процесса
Технические характеристики Brooks GF100
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | Высокая чистота/сверхвысокая чистота Стандартная серия GF Серия GF с высоким расходом Сверхбыстрое время отклика Нечувствительность к скачкам давления |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | Стандартная серия GF: 3 станд. куб/мин – 55 ст. л/мин Серия GF с высоким расходом: 55–300 л/мин |
| Точность | ±1% SP > 35-100% ±0,35 % полной шкалы 2–35 % |
| Повторяемость | < ±0,15 % SP |
| Линейность | ±0,5% полной шкалы (учитывается погрешность) |
| Время отклика | Нормально закрытый клапан: 300 мс — < 700 мс 700 мс — < 1 сек Доставка газа SDS: < 3 сек. |
| Время отклика | Нормально открытый клапан: <1,5 с (конкретные модели) |
| Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | MultiFlo™ Standard (большинство моделей) |
| Нечувствительность к скачкам давления | <5% SP для давления до 5 фунтов на кв. дюйм/с до давления. шип |
| Диапазон управления | Стандартная серия GF: < 3-100% Серия GF с высоким расходом: 5–100 % |
| Количество контейнеров | Стандартная серия GF: 11 контейнеров Серия High Flow GF: 4 контейнера |
| Клапан закрыт | Стандартная серия GF: < 1% полной шкалы Серия GF с высоким расходом: < 2 % полной шкалы при выходном давлении 30 N2 psig/atm |
| Нулевая стабильность | < ±0,5% полной шкалы в год |
| Температурный коэффициент потока | Диапазон: 0,05% SP на °C Ноль: 0,005% полной шкалы на °C |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | 4 — 10 µ дюймов Ra |
| Смачиваемые материалы | SEMI F20 HP/UHP-совместимый 316 л VIM/VAR Hastelloy С-22 Нержавеющая сталь 316L 304 нержавеющая сталь КМ-45 |
| Опции клапана | нормально закрытый Нормально открытый (только для определенных моделей) Счетчик (без клапана) |
| Коэффициенты | |
| Максимальная температура | 50 o С |
| Диапазон дифференциального давления | 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм 861–7200 см3/мин = 10–45 фунтов на кв. дюйм 7201-55000 см3/мин = 15-45 фунтов на квадратный дюйм 51 слм-300 слм = 30-90 фунтов на квадратный дюйм * Типичные перепады давления. Обратитесь в службу технической поддержки Brooks для получения дополнительной информации. |
| Максимальное давление | Стандартная серия GF: макс. 500 фунтов на кв. дюйм Серия GF с высоким расходом: 75 фунтов на кв. дюйм (контроллер), 150 фунтов на кв. дюйм (манометр) |
| Утечка целостности | 1×10 -10 атм см3/с He |
| Диагностика и отображение | |
| Диагностические возможности | Доступно |
| Индикаторы состояния | МФЦ Здоровье Статус сети |
| Сигналы тревог | Выход регулирующего клапана Прерывание сети |
| Диагностический/служебный порт | RS-485 через разъем 2,5 мм (все модели) |
| Отображение | Встроенный ЖК-дисплей с верхним креплением Угол обзора: фиксированный Расстояние просмотра: 10 футов Отображаемые единицы измерения: расход (%), температура (°C), давление (psi, кПа) Разрешение: 0,1 (единица измерения) |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0-5 В постоянного тока |
| Цифровая связь | DeviceNet™ L-протокол RS485 |
| Электрическое подключение | Аналоговый/RS485 через 9-контактный разъем «D» DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12» Доступны различные кабельные адаптеры. Дополнительную информацию см. в техническом паспорте продукта. |
| Электропитание/потребление | Аналоговый/RS485 L-протокол: макс. 6 Вт при ±15 В пост. тока (±10%) или +24 В пост. тока (±10%) DeviceNet™: макс. 545 мА при +11–25 В постоянного тока, макс. 250 мА при 24 В постоянного тока (При типичных условиях эксплуатации) |
| Сертификаты соответствия | |
| EMC | Директива ЕС 2004/108/ЕС CE: EN61326-1: 2006 (FCC, часть 15 и канадский IC-подмножество тестов CE) |
| Экологическое соответствие | Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 |
Характеристики
| Модель | GF100 |
