Термомассовый расходомер Brooks GF100 EtherCAT
Описание
Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в режиме реального времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0,15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность низкого заданного значения и снижает требования к техническому обслуживанию. Улучшенное отключение клапана (≤ 0,15% от диапазона корзины) уменьшает утечку клапана для снижения эффекта первой пластины. Новая улучшенная нечувствительность к переходным процессам давления снижает чувствительность к перекрестным помехам для обеспечения стабильного массового расхода.
Описание расходомера Brooks GF100 EtherCAT
Особенности
- Долгосрочная стабильность нуля <±0,15% полной шкалы в год
- Время установления: 300 мс — <1 секунды
- Скорость полномасштабного потока до 300 сл/мин
- Проточный канал с цельнометаллическим уплотнением: возможность выбора для обработки поверхности 5µ или 10µ дюймов Ra
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- Возможность программирования газа и диапазона MultiFloTM — одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без отсоединения MFC от газовой линии или ухудшения точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт облегчают установку, мониторинг и устранение неисправностей прибора
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) — это современный контроллер массового расхода компании Brooks с низким перепадом давления для подачи газов с системой безопасной подачи (SDS) в условиях пониженной атмосферы, используемых в процессах имплантации и травления.
Преимущества
- Исключительная производительность
- Быстрое время реакции повышает эффективность приложений
- Гибкая топология
- Практически неограниченные возможности топологии сети
- Простота и надежность
- Конфигурация, диагностика и обслуживание
- Доступность
- Стандартный порт Ethernet
Сферы применения
- Инструменты для травления полупроводников
- Системы тонкопленочного химического осаждения из паровой фазы (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
- Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD)
- Системы эпитаксиального процесса
Технические характеристики Brooks GF100 EtherCAT
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | EtherCAT-коммуникация Высокая чистота/сверхвысокая чистота Встроенная диагностика Сверхстабильный датчик потока Улучшенное отключение клапана |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | Стандартная серия GF: 3 см3/мин – 55 см/м Серия High Flow GF: 55 ст/мин — 300 ст/мин |
| Точность | Стандартная серия GF: ±1% SP > 20-100%; ±0,2 % полной шкалы 2–20 % Серия GF с высоким расходом: ±1% SP > 35-100%; ±0,35 % полной шкалы 2–35 % |
| Повторяемость | < ±0,15 % SP |
| Время отклика | Нормально закрытый клапан: 300 мс — < 1 с Доставка газа SDS: < 3 сек. |
| Время отклика | Нормально открытый клапан: <1,5 с (конкретные модели) |
| Нечувствительность к скачкам давления | Конкретные модели |
| Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | MultiFlo™ Standard (большинство моделей) |
| Диапазон управления | Стандартная серия GF: 2-100% Серия GF с высоким расходом: 5–100 % |
| Количество бункеров | Стандартная серия GF: 11 бункеров Серия High Flow GF: 4 бункера |
| Клапан закрыт | Стандартная серия GF: <0,15% полной шкалы Серия GF с высоким расходом: < 2 % полной шкалы при выходном давлении 30 N2 psig/atm |
| Нулевая стабильность | < ±0,15% полной шкалы в год |
| Температурный коэффициент потока | Диапазон: 0,05% SP на °C Ноль: 0,005% полной шкалы на °C |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | 5 — 10µ дюймов Ra |
| Смачиваемые материалы | SEMI F20 HP/UHP-совместимый 316 л ВИМ/ВАР Hastelloy C-22 Нержавеющая сталь 316L 304 нержавеющая сталь КМ-45 |
| Опции клапана | нормально закрытый Нормально открытый (только для определенных моделей) Счетчик (без клапана) |
| Коэффициенты | |
| Максимальная температура | 50 oC |
| Диапазон дифференциального давления | 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм 861–7200 см3/мин = 10–45 фунтов на кв. дюйм 7201-55000 см3/мин = 15-45 фунтов на квадратный дюйм 51 слм-300 слм = 30-90 фунтов на квадратный дюйм Модели SDS 10 торр — 30 фунтов на кв. дюйм, тип. * Типичные перепады давления. Обратитесь в службу технической поддержки для получения дополнительной информации. |
| Максимальное давление | Стандартная серия GF: до 500 фунтов на кв. дюйм макс. Серия GF с высоким расходом: 75 фунтов на кв. дюйм (контроллер), 150 фунтов на кв. дюйм (манометр) |
| Утечка целостности | 1×10 -10 атм см3/с He |
| Диагностика и отображение | |
| Диагностические возможности | Доступно |
| Индикаторы состояния | Запуск Ошибка Питание Статус сети |
| Сигналы тревог | Выход регулирующего клапана Прерывание сети Температура высокая/низкая Давление высокое/низкое Скачки/провалы мощности |
| Диагностический/служебный порт | Микро USB |
| Отображение | Встроенный ЖК-дисплей с верхним креплением Угол обзора: фиксированный Расстояние просмотра: 10 футов Отображаемые единицы измерения: расход (%), температура (°C), давление (psi, кПа) Разрешение: 0,1 (единица измерения) |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | — |
| Цифровая связь | EtherCAT® |
| Электрическое подключение | Питание через 5-контактный разъем M8, EtherCAT через двойной RJ45 |
| Электропитание/потребление | 24 В постоянного тока, 7 Вт (При типичных условиях эксплуатации) |
Характеристики
| Модель | GF100 EtherCAT |
