Термомассовый расходомер Brooks GF40
Описание
Несколько газов в одном устройстве — это максимальная гибкость и производительность процесса. Герметичные массовые расходомеры и контроллеры серии GF40 с эластомерным уплотнением и эксклюзивной технологией MultiFlo™ от Brooks Instrument — идеальный выбор для систем, процессов и объектов, в которых используются различные газы, часто меняются типы газов или требуется изменение диапазона при сохранении точности измерения и контроля газа. Это обеспечивает новый уровень гибкости процесса в сочетании с беспрецедентными характеристиками измерения и регулирования расхода.
Описание расходомера BROOKS GF40
- Программируемые возможности работы с несколькими газами/многими диапазонами
- База данных газов Brooks® MultiFlo™ содержит тысячи прогонов исходного газа для определения корректирующих функций
- Время отклика потока до 1 секунды и точность уставки 1% для сложных приложений
- Хорошо подходит для различных газов
- Быстрый отклик, датчик из хастеллоя
- Легкодоступный диагностический сервисный порт не зависит от связи с прибором
- Многопротокольные варианты связи включают DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® и аналоговый интерфейс RS-485
Преимущества
- Программируемые возможности работы с несколькими газами/многими диапазонами
- База данных газов Brooks® MultiFlo™ содержит тысячи прогонов исходного газа для определения корректирующих функций
- Время отклика потока до 1 секунды и точность уставки 1% для сложных приложений
- Хорошо подходит для различных газов
- Быстрый отклик, датчик из хастеллоя
- Легкодоступный диагностический сервисный порт не зависит от связи с прибором
- Многопротокольные варианты связи включают DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® и аналоговый интерфейс RS-485
Сферы применения
- Системы химического осаждения паров солнечных элементов
- Биореакторы для биологических наук
- Вакуумные процессы
- Производство нанотехнологий
- Плазменные системы, системы нанесения покрытий на стекло и полотно
- Отличный вариант для коллекторов/систем подачи газа
Технические характеристики BROOKS GF40
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | Высокая точность Возможности MultiFlo™ Компактный размер Подходит для полного набора газов |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 3 см3/мин — 50 ст/мин |
| Точность | 1% SP 35-100%, 0,35% FS 2-35% |
| Повторяемость | 0,20% СП |
| Линейность | ±0,5% полной шкалы (учитывается погрешность) |
| Время отклика | Нормально закрытый клапан: 300 мс — <1 с |
| Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | Доступен MultiFlo™ |
| Диапазон управления | 2-100% |
| Количество контейнеров | 10 контейнеров |
| Клапан закрыт | Закрывает клапан, когда уставка падает ниже 1,5 % полной шкалы. |
| Нулевая стабильность | <±0,5% полной шкалы в год |
| Коэффициент давления | 0,03% на фунт/кв. дюйм (0-50 фунт/кв. дюйм N 2 ) |
| Коэффициенты | |
| Диапазон температур | 5-50 ° С (41-122 ° F) |
| Максимальное давление | 150 фунтов на кв. дюйм/10 бар |
| Диапазон дифференциального давления | 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм 861-7200 см3/мин = 15-45 фунтов на кв. дюйм 7201-55000 см3/мин = 25-45 фунтов на квадратный дюйм *Для получения дополнительной информации обратитесь в службу технической поддержки Brooks. |
| Утечка целостности | 1×10 -10 атм см3/с He |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Эластомерное уплотнение |
| Чистота поверхности | 32 µ дюйма Ra |
| Смачиваемые материалы | Нержавеющая сталь 316, Hastelloy C-22, 1707 PH, 43055 |
| Опции клапана | нормально закрытый нормально открытый Счетчик (без клапана) |
| Диагностика | |
| Диагностические возможности | Доступно |
| Диагностический/служебный порт | Доступно |
| Электрика | |
| Аналоговая связь | 0–5 В, 0–10 В 0–20 мА, 4–20 мА |
| Цифровая связь | DeviceNetTM EtherCAT® Profibus® RS485 _ |
| Электрическое подключение | DeviceNet™: 1 x M12 с резьбовой накидной гайкой (B) EtherCAT®: 5-контактный разъем M8 с резьбовой накидной гайкой/2 x RJ45 Profibus®: 1 x 15-контактный разъем Sub-D/1 x 9-контактный разъем Sub-D RS485: 1 x 15-контактный штекер Sub-D, (A) |
| Электропитание/потребление | Аналоговый / RS-485 От +12 В пост. тока до +24 В пост. тока: 7 Вт/8 Вт DeviceNet™ От +11 В пост. тока до +25 В пост. тока: 7 Вт/8 Вт EtherCAT® / Profibus® От +13,5 В пост. тока до +27 В пост. тока: 7 Вт/8 Вт |
| Сертификаты соответствия | |
| Сертификаты/разрешения | CE: EN61326: 2006 Безопасность EN61010-1 |
| Экологическое соответствие | Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 |
| Размер | Компактный |
Характеристики
| Модель | GF40 |
