Термомассовый расходомер Brooks GF80
Описание
Для многих промышленных и полупроводниковых процессов решающее значение имеют производительность и экономическая эффективность. Металлические герметичные массовые регуляторы расхода и расходомеры серии GF80 обеспечивают и то, и другое: Созданные на основе того же быстродействующего датчика и запатентованной технологии MultiFlo™ 4-го поколения, что и наши бестселлеры серии GF100, они являются правильным выбором для предприятий, которым требуется высокая производительность по выгодной цене. Переход на MFC с металлическим уплотнением дает все преимущества MultiFloTM с возможностью работы с несколькими газами/многими диапазонами, поскольку нет ограничений по используемым газам, повышенная чистота газа благодаря устранению проницаемости кислорода через эластомеры, а также снижение затрат на техническое обслуживание, поскольку металлические уплотнения служат неограниченное время.
Описание расходомера Brooks GF80
- Долгосрочная стабильность нуля <±0,5% полной шкалы в год
- Время установления <1 секунды
- Полномасштабные скорости потока до 300 сл/мин
- Цельнометаллическое уплотнение проточной части — чистота поверхности 16µ дюймов Ra
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® может работать при более низких температурах для газов, склонных к термическому разложению
- Возможность программируемого MultiFloTM — одно устройство, тысячи типов газов и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или снижения точности.
- Лучшие в своем классе характеристики температурного коэффициента благодаря активной температурной компенсации
- Встроенные процедуры самодиагностики и независимый диагностический/сервисный порт
- Тонкий корпус с фитингами VCR
- DeviceNetTM, Profibus®, RS-485 и аналоговые интерфейсы
Преимущества
- Быстрое время установления потока <1 секунды исключает бесполезную трату газа и изменчивость процесса
- Отсутствие эластомерных уплотнений, которые могут пропитываться кислородом и со временем требовать замены.
- MultiFloTM упрощает и оптимизирует смену технологических газов — больше не нужно снимать и калибровать MFC.
- Новые газы и/или диапазоны могут быть установлены менее чем за 60 секунд
- Точность измерений не зависит от колебаний температуры
- Удобный доступ к диагностическому порту для максимального времени безотказной работы
- Компактный размер облегчает интеграцию в узкие машинные пространства; отличный выбор для модернизации
- Многопротокольный интерфейс связи упрощает интеграцию в существующие системы
Сферы применения
- Экономически эффективная модернизация/модернизация устаревших МФУ в обновленных полупроводниковых технологических инструментах
- Сокращение запасов МФК в шестидюймовых/восьмидюймовых полупроводниковых фабриках
- MOCVD для производства светодиодов и силовых приборов
- Системы химического осаждения из паровой фазы (CVD) солнечных батарей/тонких пленок
- Аналитическое OEM-оборудование
Технические характеристики Brooks GF80
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | Высокая чистота |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 3 см3 — 55 см2 |
| Точность | ±1% SP 35-100% ±0,35 % полной шкалы < 5–35 % |
| Повторяемость | < ±0,2% SP |
| Линейность | ±0,5% полной шкалы (учитывается погрешность) |
| Время отклика | Нормально закрытый клапан: <1 сек. |
| Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | Доступен MultiFlo™ |
| Нечувствительность к скачкам давления | — |
| Диапазон управления | < 5% — 100% |
| Количество бункеров | Стандартная серия GF: 11 бункеров Серия High Flow GF: 4 бункера |
| Клапан закрыт | Стандартная серия GF: < 1% полной шкалы Серия GF с высоким расходом: < 4% от полной шкалы стандартной конфигурации при 30 фунт/кв. дюйм изб./атм. на выходе экв. N2. |
| Нулевая стабильность | < ±0,5% полной шкалы в год |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | 16µ дюймов Ra |
| Смачиваемые материалы | Нержавеющая сталь 316 Hastelloy С-22 17-7 пн 430SS КМ-45 |
| Опции клапана | нормально закрытый Счетчик (без клапана) |
| Коэффициенты | |
| Максимальная температура | 50 o С |
| Диапазон дифференциального давления | 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм 861-7200 см3/мин = 15-45 фунтов на кв. дюйм 7201-50000 см3/мин = 25-45 фунтов на квадратный дюйм 51-300 ст/мин = 30-90 фунтов на кв. дюйм (типичные перепады давления) |
| Максимальное давление | Стандартная серия GF: 150 фунтов на кв. дюйм (10 бар) Серия GF с высоким расходом: расходомер = 75 фунтов на кв. дюйм (5 бар), контроллер = 150 фунтов на кв. дюйм (10 бар) |
| Утечка целостности | 1×10 -10 атм см3/с He |
| Диагностика и отображение | |
| Диагностические возможности | Доступно |
| Индикаторы состояния | Состояние MFC, состояние сети |
| будильники | Выход регулирующего клапана, прерывание сети |
| Диагностический/служебный порт | RS485 через разъем 2,5 мм (все модели) |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0-20 мА 4-20 мА 0-5 В постоянного тока 0-10 В постоянного тока |
| Цифровая связь | DeviceNet™ Profibus® S-протокол RS485 L-протокол RS485 |
| Электрическое подключение | Profibus/аналоговый через 9-контактный разъем «D» RS485/аналоговый через 9-контактный разъем «D», 15-контактный разъем «D» DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12» |
| Электропитание/потребление | Стандартная серия GF: RS485 от +12 В до +24 В= = 7 Вт макс.;Profibus от +13,5 В до +27 В= = 7 Вт макс.DeviceNet™ от +11 В пост. тока до +25 В пост. тока = 13,6 Вт макс. Серия High Flow GF: RS485 от +12 В пост. тока до +24 В пост. тока = 3,3 Вт макс. Profibus от +13,5 В до +27 В= = 3,3 Вт макс.DeviceNet™ от +11 В пост. тока до +25 В пост. тока = 3,3 Вт макс. |
| Сертификаты соответствия | |
| EMC | CE: EN6126: 2006 (FCC, IC-подмножество испытаний CE) |
| Экологическое соответствие | Безопасность EN61010-1 RoHS |
Характеристики
| Модель | GF80 |
