Термомассовый расходомер Brooks GP200
Описание
Серия GP200 — это первый полностью нечувствительный к давлению массовый регулятор расхода (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в производстве полупроводников.
Описание расходомера Brooks GP200
P-MFC серии GP200 имеет запатентованную архитектуру, которая позволяет преодолеть ограничения обычных P-MFC и обеспечить наиболее точную подачу технологического газа даже при подаче технологических газов с низким давлением пара. Она включает несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик дифференциального давления в сочетании с архитектурой клапана нисходящего потока, что обеспечивает наиболее точную подачу технологического газа в самом широком диапазоне рабочих условий в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон технологических условий, ее можно использовать в качестве замены и модернизации для многих традиционных P-MFC и тепловых MFC. Он снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и преобразователи.
Особенности
- Истинное измерение дифференциального давления
- Работа при пониженном давлении на входе
- Архитектура клапана нисходящего потока
- Согласованная переходная характеристика
- Регулирующий клапан с нулевой утечкой
- Технология MultiFloTM обеспечивает беспрецедентную гибкость — одно устройство может быть запрограммировано на тысячи различных конфигураций газа и диапазона расхода без удаления MFC из газовой линии или снижения точности.
- Местный дисплей показывает расход, температуру, давление и сетевой адрес
- DeviceNetTM, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol и аналоговые интерфейсы
Преимущества
- Благодаря отсутствию необходимости согласования и компенсации двух отдельных датчиков давления технология дифференциального давления GP200 снижает неопределенность измерений, что повышает точность, повторяемость и характеристики дрейфа.
- Благодаря датчику перепада давления GP200, специально оптимизированному для измерения низкого перепада давления, теперь возможна более безопасная эксплуатация лабораторий при более низких давлениях на входе в P-MFC.
- Архитектура клапана нисходящего потока обеспечивает точность независимо от давления нисходящего потока, позволяя подавать поток при давлении до 1200 Торр. Быстро закрывающийся клапан устраняет непроизводительное время ожидания рецепта, или «хвостовой эффект», наблюдаемый в конструкциях клапанов MFC, которые требуют дополнительного времени для стравливания внутреннего объема газа.
- Сверхбыстрое, с высокой повторяемостью время стабилизации восходящего и нисходящего потока позволяет более жестко контролировать процесс в передовых высокоцикловых процессах осаждения и травления.
- 100-кратное улучшение отключения клапана
- Благодаря MultiFloTM полномасштабный диапазон расхода MFC может быть уменьшен, как правило, в 3:1 раза без влияния на точность, снижение расхода или утечку по спецификациям, что обеспечивает оптимальную гибкость процесса и запасов.
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт облегчают установку, мониторинг и устранение неисправностей устройства
Сферы применения
- Производство полупроводников
- Травление
- Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
- Приложения для управления потоком газа, требующие цельнометаллического проточного тракта высокой чистоты
Технические характеристики Brooks GP200
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | Полностью нечувствительный к давлению P-MFC Самая точная подача технологического газа в самом широком диапазоне рабочих условий |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 3 см3/мин — 50 000 см3/мин |
| Точность | Клапан нулевой утечки <± 1% SP (5-100% FS) <± 0,05% полной шкалы (0,5–5% полной шкалы) Клапан с металлическим уплотнением <± 1% SP (5-100% FS) <± 0,05% полной шкалы (2-5% полной шкалы) |
| Повторяемость | < ±0,15 % SP |
| Время отклика | 280 ± 20 мс Согласованная переходная характеристика для любой восходящей или нисходящей ненулевой уставки |
| Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | Стандарт MultiFlo™ |
| Нечувствительность к скачкам давления | < ± 1% SP до скачка давления на входе до 40 psi/сек |
| Диапазон управления | Клапан нулевой утечки 0,5–100 % полной шкалы Клапан с металлическим уплотнением 2 — 100 % полной шкалы |
| Количество бункеров | Девять (9) стандартных диапазонов ячеек |
| Нулевая стабильность | < ±0,15% полной шкалы в год |
| Температурный коэффициент потока | Ноль: 0,005% полной шкалы на °C Диапазон: 0,05% SP на °C |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | 5 µ дюймов Ra в среднем |
| Смачиваемые материалы | 316 л Хастеллой С-22 Нержавеющая сталь 316/316L 304 нержавеющая сталь KM-45 PCTFE |
| Опции клапана | нормально закрытый |
| Коэффициенты | |
| Максимальная температура | 60 o С |
| Диапазон дифференциального давления | Мин.: 7 фунтов на кв. дюйм Макс: до 50 фунтов на квадратный дюйм |
| Максимальное давление | 150 фунтов на квадратный дюйм |
| Диагностика и отображение | |
| Диагностические возможности | Доступно |
| Индикаторы состояния | Сеть устройств MFC Состояние Статус сети EtherCAT Запуск Ошибка Питание Статус сети RS-485 (аналоговый) Статус сети |
| Сигналы тревог | Отклонения в управлении технологическим процессом Поток Температура *Полный список аварийных сигналов см. в дополнительных руководствах по связи. |
| Диагностический/служебный порт | RS-485 через микро-USB |
| Отображение | Встроенный ЖК-дисплей с верхним креплением Угол обзора: вращающийся Расстояние просмотра: 10 футов Отображаемые единицы измерения: расход (%), температура (°C), давление (psi, кПа) Разрешение: 0,1 (единица измерения) |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0-5 В постоянного тока |
| Цифровая связь | DeviceNet™ EtherCAT® L-протокол RS-485 |
| Электрическое подключение | Аналоговый/RS-485 через 9-контактный разъем «D» DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12» EtherCAT® через разъемы RJ45, питание через 5-контактный разъем M8 |
| Электропитание/потребление | Аналоговый/RS-485 L протокол: макс. 6 Вт при ±15 В пост. тока (±10%) или +24 В пост. тока (±10%) DeviceNet™: макс. 545 мА при +11–25 В постоянного тока, макс. 250 мА при 24 В постоянного тока EtherCAT™: макс. 360 мА при +18–30 В пост. тока, макс. 270 мА при 24 В пост. (При типичных условиях эксплуатации) |
| Сертификаты соответствия | |
| EMC | 2014/30/EU Директива по электромагнитной совместимости EN:61326-1: 2013 |
| Экологическое соответствие | 2011/65/ЕС и 2015/863/ЕС Директива RoHS Директива ЕС 1907/2006 REACH |
Характеристики
| Модель | GP200 |
