Высокотемпературный термомассовый расходомер Brooks 5850EMH
Описание
Высокотемпературные регуляторы массового расхода серии 5850EMH с металлическим уплотнением от компании Brooks Instrument сочетают в себе исключительную герметичность металлических уплотнений с разнообразием опций, обеспечивающих максимальную гибкость применения. Сердцем серии 5850EMH является высокостабильный датчик, который обеспечивает электрический выходной сигнал, линейный в зависимости от скорости потока. Этот сигнал используется для индикации, записи и/или управления без необходимости использования схемы автообнуления.
Описание расходомера Brooks 5850EMH
- Высокая герметичность (менее 10-11 Па.м3/с (10-10 атм.куб.см/с) He)
- Широкий диапазон расхода (0,003 — 100 сл/мин)
- Высокочистая нержавеющая сталь VAR 316L
- Без твердых частиц
- Контрольные порты для проверки утечки гелия
- Нормально закрытый клапан (нормально открытый клапан опционально)
- Переключение клапана с электрическим приводом
- Отсечка низкого командного расхода
- TTL-совместимая функция «клапан выключен»
Преимущества
- Стабильная, проверенная платформа продукта
- Высокая пропускная способность до 100 л/мин (в эквиваленте N2)
- Цельнометаллический проточный канал повышает чистоту газа и снижает утечки
- Простая установка и обслуживание с аналоговыми входами/выходами
Сферы применения
- Производство оптического волокна — MCVD, OVD, AVD
- Контроль потока водяных паров
Технические характеристики Brooks 5850EMH
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | Максимальный диапазон расхода Проверенная, надежная технология |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 100 слм (эквивалент N 2 ) |
| Точность | 1% полной шкалы |
| Повторяемость | <±0,25% SP |
| Линейность | Входит в точность. |
| Время отклика | <3 с в пределах 2% SP (согласно SEMI E17-91) |
| Нулевая стабильность | |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | — |
| Смачиваемые материалы | 316L, 316L VAR и высоколегированная нержавеющая сталь |
| Опции клапана | нормально открытый нормально закрытый |
| Коэффициенты | |
| Максимальная температура | 105 o С |
| Диапазон дифференциального давления | 50–350 кПа (7–50 фунтов на кв. дюйм) |
| Максимальное давление | 1 МПа (145 фунтов на кв. дюйм) |
| Утечка целостности | 1×10 -10 атм см3/сек He (1×10 -11 Па м 3 /сек) |
| Электрооборудование | |
| Диагностические возможности | — |
| Аналоговая связь | 0-5 В постоянного тока |
| Цифровая связь | — |
| Электрическое подключение | 15-контактный разъем «D» |
| Электропитание/потребление | ±15 В постоянного тока при 350 мА (макс.) |
Характеристики
| Модель | 5850EMH |
