Модуль подачи пара Brooks VDM300 DI
Описание
Модуль подачи пара (VDM) компании Brooks Instrument — это высокопроизводительный автономный модуль для высокоточной подачи деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Он имеет энергоэффективную конструкцию, позволяющую генерировать пар сверхвысокой чистоты при низкой температуре. В нем используется проверенная технология подачи пара и сочетается с передовым цифровым управлением и встроенными диагностическими функциями в небольшом удобном корпусе.
Описание модуля подачи пара Brooks VDM300 DI
Разработанный для современных процессов пассивации полос и после травления металла, VDM обеспечивает повышенную точность, более высокую скорость потока, более широкий диапазон регулирования и более низкое энергопотребление по сравнению с системами флэш-испарения. Основанная на проверенных методах измерения теплового массового расхода, система VDM производит пар в неперегретом парообразном состоянии, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, что повышает надежность и чистоту работы.
VDM предлагает удобные для пользователя функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.
Особенности
- Диапазон расхода: 3 сл/мин (пар DIW)
- Прямое измерение водяного пара с превосходной точностью расхода
- Подключается непосредственно к источнику деионизированной воды в доме
- Работает при более низких температурах (в неперегретом состоянии)
- Оптимизированная конструкция для промывки и слива
- Цифровые коммуникации EtherCAT
- Графический пользовательский интерфейс Brooks Expert Support Tool (BEST)
Преимущества
- Используется проверенный, надежный метод измерения и контроля расхода тепловой массы
- Высокая устойчивость к изменению давления подачи воды DI в лабораторных условиях
- Улучшенная коррозионная стойкость в контуре смачивания
- Обеспечивает более чистую работу
- Интерфейс инструмента с использованием аналоговых или цифровых коммуникаций
- Прямой пользовательский интерфейс для расширенного сбора данных или поиска неисправностей
Сферы применения
- Процесс постметаллического травления кремниевых полупроводников
- Процесс металлизации кремниевых полупроводников
- Увлажнение сверхвысокой чистоты в субатмосферных средах
Технические характеристики Brooks VDM300 DI
| Тип продукта | Модуль подачи водяного пара DI |
| Дифференциатор | Сверхчистый пар DIW Высочайшая точность потока Компактная конструкция EtherCAT-интерфейс |
| Метод испарения | Паровая тяга |
| Тип жидкости | Сверхвысокая деионизированная вода |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 3000 см3/мин |
| Диапазон изменения коэффициента | 20:1 |
| Время отклика | <2 сек |
| Точность | ±1% SP при >10% FS ±0,2 % полной шкалы при 5–10 % полной шкалы |
| Линейность | ± 0,5% полной шкалы |
| Повторяемость | <±0,2% полной шкалы |
| Температурный коэффициент подачи | 0,05% на °C ноль и диапазон |
| Клапан закрыт | Нормально закрытый клапан: <0,5% полной шкалы |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | от 0 до 5-24 В постоянного тока |
| Цифровая связь | EtherCAT через два разъема RJ-45 Диагностика (RS485) через microUSB |
| Электрическое подключение | 208–230 В переменного тока, 50/60 Гц, номинальная мощность 290 Вт (нагреватель резервуара) ± 15 В пост. тока, ± 5 % при 1,2 А (нагреватель MFC и печатная плата) |
| Индикаторы состояния | Нуль Устройство готово Разогрев Ошибка устройства Ошибка ЕСАТ EtherCAT Запустить Связь EtherCAT активна |
| Диагностический/служебный порт | RS-485 через microUSB |
| Фитинги | Выходной пар: 1/2 «мама видеомагнитофона Вход деионизированной воды: 1/4 дюйма, наружная резьба VCR или компрессионная трубка Дренаж воды DI: мгновенный трубный фитинг 1/8 дюйма |
| Монтажная ориентация | Вертикально с входными патрубками DIW вниз |
| Коэффициенты | |
| Максимальное давление | Выход пара: 200 торр |
| Давление подачи | Деионизированная вода: 10–40 фунтов на кв. дюйм изб. Продувка N 2 : 10–40 фунтов на кв. дюйм изб. |
| Диапазон температуры окружающей среды | 15 — 45°С |
| Внутренний объем | от 0 до 95 % относительной влажности, без конденсации |
| Сертификаты соответствия | |
| EMC | Электромагнитная совместимость (ЭМС): Полностью соответствует Директиве 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013) Директива по низкому напряжению (LVD): Полностью соответствует Директиве 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010) |
| Экологическое соответствие | Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 SEMI E54.20-1108: Стандарт сетевой связи датчика/привода для EtherCAT® |
Характеристики
| Модель | VDM300 DI |
