Датчик давления Brooks SolidSense II
Описание
Для измерения давления в системах сверхвысокой чистоты и специальных газах во многих отраслях промышленности датчики и преобразователи давления должны обеспечивать стабильность и точность. Именно поэтому преобразователи высокого давления Brooks Instrument SolidSense II® сочетают в себе бесшовные, коррозионностойкие материалы и конструкцию, обеспечивающую превосходную стабильность нуля и точность в пределах 0,25% от полной шкалы.
Мы избегаем проблем, связанных с дрейфом нуля и диапазона, тепловым сдвигом и напряжением корпуса, которые приводят к проблемам технического обслуживания и простоям конкурирующих датчиков высокого давления. Вместо этого приборы SolidSense II® обеспечивают надежную, простую в обслуживании конструкцию, которая снижает общую стоимость владения.
Описание датчика давления Brooks SolidSense II
- Материалы: Преобразователь давления имеет отожженный корпус из нержавеющей стали VIM-VAR 316L с цельным, обработанным датчиком.
- Никаких сварных швов или соединений с разнородными материалами.
- Диапазон давления: 30 — 3000 фунтов на кв. дюйм по полной шкале
- Доступны модели со встроенным дисплеем или полнофункциональным программируемым дисплеем
- Цифровая термокомпенсация использует метод многоточечной температурной компенсации
- Запатентованные кремниевые тензодатчики с микрообработкой имеют очень низкий дрейф нуля
- Полностью развернутый тракт потока полностью удаляет остаточный газ
- Выходы: 4-20 мА, 0-10 В пост. тока, 0,05-5,05 В пост. тока
Преимущества
- Гладкая поверхность и коррозионностойкие материалы обеспечивают отсутствие загрязнений при измерении — идеально подходит для многих полупроводниковых и промышленных применений
- Устойчивость к охрупчиванию H2 для увеличения срока службы
- Долгосрочная, повторяющаяся работа датчика при переменных температурах обеспечивает надежную производительность
- Превосходная стабильность поддерживает точность
- Отсутствие первоначальной установки нуля сокращает время, затрачиваемое на калибровку
- Две пары прецизионно подобранных тензометрических датчиков обеспечивают высокую производительность
- Крепление датчиков с помощью стеклопластикового соединения снимает напряжение для увеличения срока службы
- Цифровая температурная компенсация улучшает термостабильность во всем диапазоне температур
Сферы применения
- Производство полупроводников
- Системы хранения и доставки жидкостей сверхвысокой чистоты
- Тонкопленочные процессы
- Химические и нефтехимические исследования
- Лабораторные и аналитические проекты
- Продукты питания и напитки
- Фармацевтика
Технические характеристики Brooks SolidSense II
| Тип продукта | Датчики давления |
| Дифференциатор | Сверхвысокая чистота |
| Производительность | |
| Диапазон давления | -15 фунтов на квадратный дюйм — 3000 фунтов на квадратный дюйм |
| Давление разрыва | 400% полной шкалы |
| Испытательное давление | 200 % полной шкалы до 2000 фунтов на кв. дюйм, 150 % полной шкалы для более высоких диапазонов |
| Точность | 0,25% полной шкалы (BFSL) |
| Время отклика | < 5 мс |
| Температурный коэффициент подачи | Диапазоны >100 фунтов/кв. Диапазоны <100 PSI: Полная шкала: +0,04% полной шкалы/OF (от -4OF до 140OF, от -20OC до 60OC) +1,00% полной шкалы (от 68OF до 140OF, от 20OC до 60OC) Версия от 0 до 10 В постоянного тока |
| Механика | |
| Материалы конструкции | Корпус: нержавеющая сталь, полимерные пластики |
| Чистота поверхности | Соответствует SEMI F19 |
| Смачиваемые материалы | ВИМ-ВАР Нержавеющая сталь 316L, SEMI F20 |
| Чистота | Соответствует ASTM F1374-92 (2005) |
| Внутренний объем | 1,79 см3 |
| Технологические соединения | Несколько конфигураций, включая трубку, NPT, торцевое и поверхностное уплотнение. |
| Коэффициенты | |
| Температура — Компенсация | От -4OF до 140OF (от -20OC до 60OC) / от 68OF до 140OF (от 20OC до 60OC) Версия 0-10 В постоянного тока |
| Диапазон температур | Версия без дисплея: от -20 ° F до 180 ° F (от -29 ° C до 82 ° C) Версия со встроенным дисплеем: от -20°F до 140°F (от -29°C до 60°C) |
| Температура — Хранение | Без дисплея: от -40 ° F до 180 ° F (от -40°C до 82 ° C) Встроенный дисплей: от -40°F до 167°F (от -40°C до 75°C) |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0–5 В постоянного тока, 0–10 В постоянного тока, 0,2–5,2 В постоянного тока, 2–10 В постоянного тока, 4–20 мА |
| Ток питания | Версия без дисплея: макс. 10 мА Встроенный дисплей: макс. 30 мА |
| Требования к питанию | Версия с дисплеем: 10–30 В пост. тока для выхода 4–20 мА Версия со встроенным дисплеем: 15–30 В пост. тока для выхода 4–20 мА и без выходного сигнала Версия с дисплеем: от 11 до 30 В постоянного тока для выхода от 0 до 5 В постоянного тока Версия со встроенным дисплеем: от 11 до 30 В постоянного тока для выхода от 0 до 5 В постоянного тока Версия с дисплеем: от 13 до 32 В постоянного тока для выхода от 0 до 10 В постоянного тока Версия со встроенным дисплеем: от 13 до 30 В постоянного тока для выхода от 0 до 10 В постоянного тока |
| Сертификаты соответствия | |
| Сертификаты/разрешения | ЭМС: соответствует директиве ЕС 2004/108/EC Одобрено FM: невоспламеняющееся для использования в опасных условиях класса I, раздела II, групп A, B, C и D. |
| Экологическое соответствие | Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 |
Характеристики
| Модель | SolidSense II |
