Емкостной манометр Brooks CMC
Описание
Емкостные манометры серии MC от Brooks Instrument обеспечивают надежное и точное измерение вакуума в широком диапазоне рабочих температур, являясь экономичной альтернативой более крупным манометрам премиум-класса без подогрева. Компактная конструкция и проверенные рабочие характеристики делают их идеальной модернизацией для существующих инструментов, нуждающихся в малом форм-факторе манометра.
Описание емкостного манометра Brooks CMC
Надежная и повторяемая работа обеспечивается даже в самых агрессивных процессах благодаря цельносварной конструкции и смачиваемым поверхностям Iconel®. Сочетание прецизионных компонентов и широкого рабочего диапазона с температурной компенсацией позволяет Brooks обеспечивать лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и размаха для оптимальной стабильности измерений.
Особенности
- Доступны для диапазонов процессов от 10 Торр до 1000 Торр
- Доступны два уровня точности: 0,25% или 0,50% от показаний (опционально).
- Исключительная производительность в широком диапазоне рабочих температур
- На 40% меньше традиционных емкостных манометров без подогрева
- Цельносварная конструкция и смачиваемая поверхность из Inconel®
Преимущества
- Дополнительная высокоточная калибровка соответствует точности более дорогих манометров премиум-класса без подогрева
- Лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и диапазона
- Компактная конструкция помогает вписать прибор в узкое машинное пространство
- Оптимальная повторяемость измерений по сравнению с другими конструкциями, которые подвержены внутренним напряжениям, вызывающим ошибки
Сферы применения
- Производство полупроводников
- Процессы тонкопленочного осаждения — стекло, полотно и оптические покрытия
- Сублимационная сушка скоропортящихся материалов
- Высокотехнологичные покрытия для медицинских инструментов (хирургические инструменты, стоматологические сверла и т.д.)
Технические характеристики Brooks CMC
| Тип продукта | Емкостный манометр |
| Дифференциатор | Без подогрева |
| Производительность | |
| Температура | Окружающий |
| Диапазон давления | Полная шкала 10, 20, 50, 100 и 1000 торр |
| Точность | Тип A = 0,25% от показаний Тип B = 0,50% от показаний |
| Диапазон измерений | 4 десятилетия |
| Температурный эффект | На нуле 0,002% полной шкалы/°C На пролете 0,027% полной шкалы/°C |
| Механика | |
| Открытые материалы | Инконель |
| Предел избыточного давления | 45 фунтов на квадратный дюйм |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0–10 В пост. тока (нагрузка <10 кОм) |
| Цифровая связь | — |
| Электрическое подключение | 15-контактный разъем DSub на 6-дюймовом кабеле 9-контактный разъем DSub 5-контактная клеммная колодка |
| Электропитание/потребление | < 200 мВт |
| Сертификаты/разрешения | |
| EMC | CE Директива 89/336/ЕЭС |
| Экологическое соответствие | Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 |
| Размер | Компактный |
Характеристики
| Модель | CMC |
