Емкостной манометр Brooks XacTorr
Описание
Максимально повысьте эффективность и производительность ваших процессов, зависящих от вакуума: Выбирайте цифровые вакуумные емкостные манометры серии XacTorr® от компании Brooks Instrument. Устройства серии XacTorr® обладают лучшими в отрасли характеристиками, которые повышают надежность измерений, минимизируют дрейф, противостоят загрязнению мембраны и минимизируют тепловые эффекты.
Описание емкостного манометра Brooks XacTorr
Усовершенствованный датчик Mark-IV содержит участки поверхности, не используемые при измерении давления, обеспечивая места для скопления частиц и конденсирующихся паров. Это снижает необходимость повторного обнуления манометра и увеличивает срок службы датчика без риска его смещения. Кроме того, имеется дополнительный датчик с быстрым откликом для обеспечения превосходных характеристик управления в замкнутом контуре.
Результат: сверхточное, повторяемое и эффективное измерение вакуума, которое гарантирует, что при каждом откачивании воздуха из камеры достигается точное значение Торр, необходимое для чистого производства без загрязнений.
Особенности
- Доступны для диапазонов процессов от 0,10 Торр до 1000 Торр
- Доступны различные уровни точности
- Запатентованный датчик Mark IV
- Цифровая архитектура позволяет работать в широком динамическом диапазоне с чрезвычайно высокой точностью
- Двухзонный температурный контроль улучшает стабильность и повторяемость измерений
- Многодекадная цифровая калибровка обеспечивает превосходное окно известной точности
- Интелли-сенсорная регулировка нуля
- Независимый и легкодоступный диагностический сервисный порт
- Опции DeviceNet® и аналоговой связи
Преимущества
- Меньший дрейф, превосходная защита от осаждения технологических газов
- Устранение ручных потенциометров и дрейфа, связанного с электроникой
- Быстрый прогрев, тщательный контроль температуры, быстрая реакция на изменения
- Многодекадная калибровка обеспечивает превосходное окно известной точности, компенсацию влияния температуры окружающей среды в реальном времени
- Не может быть обнулен, если давление слишком высокое или не достигнута желаемая температура
- Диагностический порт позволяет осуществлять мониторинг и сбор данных одновременно с работой прибора для подбора камеры и инструмента, а также для поиска и устранения неисправностей в режиме реального времени.
Сферы применения
- Производство полупроводников
- Процессы тонкопленочного осаждения — стекло, полотно и оптические покрытия
- Сублимационная сушка скоропортящихся материалов
- Высокотехнологичные покрытия для медицинских инструментов (хирургические инструменты, стоматологические сверла и т.д.)
Технические характеристики Brooks XacTorr
| Тип продукта | Емкостный манометр |
| Дифференциатор | С подогревом или без отопления Аналоговый или цифровой |
| Производительность | |
| Температура | CMX0 Окружающая среда CMX1 45°С СМХ2 100°С СМХ3 160°С |
| Диапазон давления | 0,1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 торр мбар и паскаль Доступные ссылки |
| Точность | CMX0: 0,25% от показаний CMX1, CMX2: диапазоны от 1 до 1000 Торр = 0,15% от показаний CMX1, CMX2: диапазоны < 1 Торр = 0,25% от показаний |
| Диапазон измерений | 4 десятилетия |
| Температурный эффект | На нуле 0,002% полной шкалы/°CНа пролете 0,02% полной шкалы/°C |
| Механика | |
| Открытые материалы | Inconel® и/или нержавеющая сталь AISI 316L |
| Предел избыточного давления | 17 фунтов на квадратный дюйм или 125% полной шкалы, в зависимости от того, что больше |
| Размер | Большой |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0–10 В пост. тока, нагрузка 5 кОм |
| Цифровая связь | DeviceNet™ РС485 |
| Электрическое подключение | Аналоговый/RS485 через 9-контактный или 15-контактный разъем «D» DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12» Доступны различные кабельные адаптеры. Дополнительную информацию см. в техническом паспорте продукта. |
| Электропитание/потребление | Требуемая мощность CMX0 составляет 200 мА при ±15 В постоянного тока. Потребляемая мощность при начальном прогреве аналоговых моделей, типовые значения 1 : CMX1 — 270 мА при ±15 В пост. тока (±5 %); CMX2 — 620 мА при ± 15 В постоянного тока (± 5 %) Потребляемая мощность в установившемся режиме аналоговых моделей, типовые значения 1 : CMX1 — 175 мА при ±15 В пост. тока (±5 %); CMX2 — 350 мА при ± 15 В постоянного тока (± 5 %) Потребляемая мощность при начальном прогреве Модели DeviceNet, типовые значения: CMX1 — 400 мА при 24 В пост. тока; CMX2 — 900 мА при 24 В постоянного тока Потребляемая мощность в установившемся режиме Модели DeviceNet, типовые значения: CMX1 — 300 мА при 24 В постоянного тока CMX2 — 600 мА при 24 В постоянного тока 1. Модель Sub-D с 15-контактным штекерным разъемом требует дополнительных 40 мА для питания внутренних реле (если они находятся под напряжением). |
| Сертификаты/разрешения | |
| EMC | Полностью сертифицирован CE в соответствии с директивой EMC 89/336/EEC |
Характеристики
| Модель | XacTorr |
