Контроллер давления Brooks PC100
Описание
Контроллеры и измерители давления серии PC100 сочетают в себе множество высокопроизводительных технологических характеристик, обеспечивающих новый уровень точности и надежности регулирования давления в сложных процессах производства полупроводников, осаждения паров и других сверхточных процессов.
Описание контроллера давления Brooks PC100
Созданные на основе проверенной технологии контроллера массового расхода Brooks GF100, приборы серии PC100 имеют цельнометаллический проточный тракт высокой чистоты, усовершенствованную технологию датчика, разработанную специально для устранения дрейфа датчика, а также пользовательский интерфейс и возможность диагностики прибора, что значительно облегчает оценку прибора и устранение неисправностей, что приводит к ограничению перерывов в обслуживании и сокращению времени простоя.
Особенности
- Время отклика: <1 секунда
- Полномасштабный расход до 10 слм
- Диапазон давления преобразователя: 1000 Торр FS
- Пропускная способность цельнометаллического уплотнения: обработка поверхности 5 мк дюймов Ra
- PC125 со встроенным расходомером включает в себя высококоррозионностойкий датчик расхода Hastelloy® C-22 в сочетании с высокоскоростным процессором ARM
- Быстродействующий безмембранный клапанный узел
- ЖК-дисплей с высокой видимостью и легкодоступной кнопкой для локальной индикации расхода, температуры и сетевого адреса
- Независимый диагностический/сервисный порт
- Протокол DeviceNet™
Преимущества
- Высокопроизводительные компоненты обеспечивают быстрый отклик и время настройки для улучшения контроля давления
- Сокращение потребления отводимого газа и связанных с этим расходов на ликвидацию последствий аварии
- Полностью металлический, коррозионностойкий контур смачиваемого потока, соответствующий стандарту SEMI F20, с общей уменьшенной площадью поверхности и незаполненными объемами обеспечивает более быстрое осушение на этапах продувки.
- Долгосрочная стабильность устройства датчика температуры или давления максимизирует выход продукции и производительность
- Программируемая пользователем функция запуска для процессов, требующих медленного регулирования давления
Сферы применения
- Усовершенствованные инструменты для травления полупроводников
- Системы тонкопленочного химического осаждения из паровой фазы (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
- Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD)
Технические характеристики Brooks PC100
| Тип продукта | Контроллер давления |
| Дифференциатор | Режим управления: нисходящий или восходящий Сверхвысокая чистота Цифровой контроль давления |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 10 см (только N2 или H2) |
| Точность | Показание давления: ± 1% от показания Контроль давления: ± 0,2% полной шкалы <10% полной шкалы; ± 1% от показаний >10% до 100% полной шкалы Показания расхода: ± 0,35% полной шкалы 2-35% полной шкалы; ± 1% от показаний >35% полной шкалы |
| Повторяемость | < ±0,2% полной шкалы |
| Температурный коэффициент подачи | Ноль: <0,05% полной шкалы/°C Диапазон: < 0,08% от показаний/°C |
| Максимальное давление | 1000 Торр ФС |
| Диапазон регулирования давления | > 2 до 100% |
| Время отклика | < 1 сек тип. (исключая системную постоянную времени) |
| Диапазон температур | 10 — 50°С |
| Утечка целостности | Внешний: 1 x 10 -10 атм scc/сек He макс. |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | 5 мк дюймов Ra |
| Смачиваемые материалы | SEMI F20 HP совместимый 316 л ВИМ/ВАР Хастеллой С-22 Нержавеющая сталь 316L 304 нержавеющая сталь |
| Опции клапана | нормально закрытый |
| Электрооборудование | |
| Диагностические возможности | Доступно |
| Аналоговая связь | — |
| Цифровая связь | DeviceNet™ |
| Электрическое подключение | DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12» |
| Электропитание/потребление | DeviceNet™: макс. 545 мА при +11–25 В постоянного тока |
| Сертификаты соответствия | |
| EMC | Директива ЕС 2014/30/ЕС СЕ: EN61326-1: 2013 |
| Экологическое соответствие | Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 |
Характеристики
| Модель | PC100 |
