Контроллер давления с расходомером Brooks 5866RT
Описание
Регулятор давления и расходомер Brooks модели 5866RT с металлическим или эластомерным уплотнением контролирует давление, одновременно измеряя расход. Модель 5866RT получает сигнал от удаленного датчика давления и с помощью регулируемой встроенной электроники ПИД-регулирования и регулирующего клапана поддерживает заданное давление. Благодаря опциям уплотнений, электрополированным смачиваемым поверхностям и широкому диапазону измерения давления и расхода, модель 5866RT обеспечивает проверенные результаты в широком диапазоне процессов.
Описание расходомера Brooks 5866RT
- Встроенный датчик давления
- Время отклика: <0,8 секунды
- Широкий диапазон измерения расхода с полномасштабным расходом от 0 — 3 куб. см до 0 — 30 000 куб. см.
- Широкий диапазон полномасштабных давлений (максимальное давление 1500 psig)
- Возможно дополнительное металлическое уплотнение
- Электрополированные смачиваемые поверхности (опция)
- Электрически активируемая блокировка клапана
- Подходит для управления в направлении вверх или вниз по потоку
- Аналоговый интерфейс
Преимущества
- Устранение спада, гистерезиса и усиления
- Высокая герметичность
- Больше контроля над давлением и расходом
- Динамическая настройка с помощью установленных сверху DIP-переключателей
Сферы применения
- Тонкопленочные процессы
- Химические исследования
- Нефтехимические исследования
- Лаборатория
- Топливные элементы
- Наука о жизни
Технические характеристики Brooks 5866RT
| Тип продукта | Контроллер давления и расходомер |
| Дифференциатор | Удаленный преобразователь Контроль давления и измерение расхода |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | Любой диапазон от 0 до 3 см3/мин до 0–30 000 см3/мин N2 Уравнение. |
| Точность | Точность потока: ±1% полной шкалы, включая линейность в условиях калибровки ±1,5% полной шкалы для расхода более 20 л/мин |
| Повторяемость | ±0,25% от скорости |
| Температурный коэффициент подачи | 0,1% полной шкалы на °C |
| Диапазон давления | Зависит от удаленного датчика давления |
| Диапазон регулирования давления | 100:1 для удаленного преобразователя с выходом 0-10 В |
| Время отклика | Время отклика давления: < 0,8 с типично для шага команды 0–100 % с выбросом давления <2 %. Фактическая реакция давления зависит от конструкции системы. |
| Коэффициенты | |
| Максимальное давление | 1500 фунтов на кв. дюйм |
| Диапазон температур | 0 — 65°С |
| Утечка целостности | Внутренний к внешнему Металлическое уплотнение: 1 x 10 -10 атм см3/с He макс. Эластомерное уплотнение: 1 x 10 -9 атм см3/с He макс. |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Эластомер или металл |
| Смачиваемые материалы | Смачиваемые детали: стандартная нержавеющая сталь 316L/316L VAR Седло клапана: стандартные фторэластомеры Viton® или металл. Внешние/внутренние уплотнения: фторэластомеры или металл Дополнительно: Buna-N, Teflon® или Kalrez® |
| Опции клапана | нормально закрытый нормально открытый Без клапана (эластомер, только конфигурация вверх по течению) |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0-5 В |
| Цифровая связь | — |
| Электрическое подключение | 15-контактный D-разъем |
| Электропитание/потребление | нормально закрытый: 3,5 Вт; +15 В пост. тока (±5%) при 35 мА, -15 В пост. тока (±5%) при 180 мА нормально открытый: 10,5 Вт; ±15 В постоянного тока (±5%) при 350 мА |
| Диагностические возможности | — |
| Сертификаты соответствия | |
| Сертификаты/разрешения | — |
| EMC | Директива по электромагнитной совместимости 89/336/EEC EN 61326-1 |
| Размер | Компактный |
Характеристики
| Модель | 5866RT |
