Вакуумметр Brooks VersaTorr BVT100
Описание вакуумметра Brooks VersaTorr BVT100
Основанная на передовой технологии датчиков MEMS (микроэлектромеханические системы), конструкция вакуумметров серии VersaTorr BVT100 сочетается с новой прецизионной архитектурой цифровой обработки сигнала и передовыми инновационными алгоритмами измерения. В сочетании с высокоточными автоматизированными процессами производства и калибровки, эти элементы в совокупности обеспечивают уникальный продукт, способный обеспечить бескомпромиссную производительность измерений.
Известная газовая зависимость в диапазоне грубого вакуума манометров теплопроводности была устранена путем интеграции мембранного датчика MEMS, который обеспечивает точность, сравнимую с более дорогими емкостными манометрами. Эта особенность обеспечивает более точный контроль процессов удаления воздуха из вакуумной системы и может предотвратить избыточное давление в вакуумной системе.
Особенности и преимущества
- Выпускается в двух моделях: BVT100 измеряет от атмосферы до 7,5 x 10-7, а BVT125 включает атмосферный переключатель.
- Эти вакуумметры упрощают проектирование системы, экономят место и затраты, поскольку сводят к минимуму необходимость в нескольких вакуумметрах и отдельном атмосферном выключателе.
- Сверхширокий диапазон измерений 9 декад
- Передовая цифровая обработка сигнала обеспечивает непревзойденное соотношение цены и производительности
- Газонезависимый мембранный датчик от 2 до 1333 мбар
- Простая конфигурация с помощью USB-программатора Brooks Vacuum Transducer Communicator
- Сверхстабильная компенсация дрейфа нулевой точки
- Дополнительное твердотельное реле уставки для управления процессом
Сферы применения
- Грузовые шлюзы
- Передаточные камеры
- Форлайны
- Линии вакуумной черновой обработки
- Обработка тонких пленок
Технические характеристики Brooks VersaTorr BVT100
| Тип продукта | Двойной датчик: MEMS Пирани и пьезодиафрагма |
| Дифференциатор | Повышенная точность с широким рабочим диапазоном для надежного измерения откачки и базового давления |
| Производительность | |
| Температура | Окружающая среда — 50 o C |
| Диапазон давления | 7,5×10 -7 Торр до 1000 Торр |
| Точность | от 7,5×10 -5 до 7,49×10 -3 мм рт.ст.: ±5% 7,5×10 от -3 до 7,49 мм рт.ст.: ±5% от 7,50 до 7,49 Торр: ±1% от 75 Торр до 1000 Торр: ≤±0,5% |
| Диапазон измерений | 9 десятилетий |
| Температурный эффект | Окружающая среда — 50 o C |
| Механика | |
| Открытые материалы | Нержавеющая сталь 304, ковар, стекло, кремний, никель, алюминий, SiO 2 , Si 3 N 4 , золото, Viton® , эпоксидная смола с низким газовыделением, припой, RO4305 |
| Предел избыточного давления | 10 бар абс. |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0,5–9,5 В постоянного тока (1 В на декаду) |
| Цифровая связь | РС-232 РС-485 |
| Электрическое подключение | 9-контактный D-образный штекер 15-контактный штекер HD D-sub 15-контактный штекер HD D-Sub / двойной аналоговый выход 6-контактный разъем Hirschmann, разрешение ID 3K 6-контактный Hirschmann, разрешение ID 5.1K 6-контактный Hirschmann, разрешение ID 9.1K/11.1K 8-контактный RJ45/FCC68, разрешение ID 27K 8-контактный разъем RJ45/FCC68, разрешение ID 36K 8-контактный разъем RJ45/FCC68, разрешение ID 43K |
| Электропитание/потребление | 240 мВт (макс.) |
| Сертификаты/разрешения | |
| EMC | Директива ЕС 2015/863 Директива по электромагнитной совместимости 2014/30/ЕС |
| Модель | VersaTorr BVT100 |
