Вакуумметр Пирани Brooks VersaTorr BVT200
Описание
Установите новые стандарты с помощью преобразователя Пирани серии VersaTorr BVT200/225. Это универсальное решение для измерения в широком диапазоне для широкого спектра вакуумных приложений. Он отличается от любых других вакуумметров тем, что предлагает общее экономически эффективное газонезависимое измерение от 5,0E-3 до 1333 мбар в сочетании с измерением до 1E-6 мбар за счет использования принципа тепловых потерь.
Описание вакуумметра Пирани Brooks VersaTorr BVT200
В вакуумных системах, где состав или тип газа может меняться, традиционные газозависимые манометры Пирани приведут к отклонению измерений от фактического давления. В датчике Tri- Sensor используется прецизионный емкостной мембранный манометр (CDG), который устраняет зависимость от газа и обеспечивает точные измерения даже при изменении свойств газа.
Встроенный MEMS-датчик Пирани с тепловыми потерями расширяет диапазон измерений до 1E-6 мбар и обеспечивает новую автоматическую установку нуля емкостного манометра, что устраняет обычную необходимость ручной установки нуля традиционных емкостных мембранных манометров.
Особенности
- Сверхширокий диапазон измерений 9 декад
- Емкостная мембрана обеспечивает повышенную точность на уровне 0,5% в диапазоне низкого вакуума
- 6 декад независимого измерения газа от 5E-3 до 1333 мбар
- Автоматическое обнуление емкостного манометра
- Датчик температуры вакуума для диагностики
Сферы применения
- Грузовые шлюзы
- Передаточные камеры
- Форлайны
- Линии вакуумной черновой обработки
- Обработка тонких пленок
Технические характеристики Brooks VersaTorr BVT200
| Тип продукта | Датчик Tri: MEMS Пирани, емкостные и пьезо-диафрагмы |
| Дифференциатор | Емкостные датчики и датчики с пьезодиафрагмой обеспечивают расширенное высокоточное прямое измерение вакуума для управления технологическим процессом. |
| Производительность | |
| Температура | Окружающая среда — 50 o C |
| Диапазон давления | 7,5×10 -7 Торр до 1000 Торр |
| Точность | от 7,5×10 -5 до 7,49×10 -3 мм рт.ст.: ±5% 7,5×10 от -3 до 7,49 мм рт.ст.: ±0,5% от 7,50 до 7,49 Торр: ±0,5% от 75 Торр до 1000 Торр: ≤±0,5% |
| Диапазон измерений | 9 десятилетий |
| Температурный эффект | Окружающая среда — 50 o C |
| Механика | |
| Открытые материалы | Нержавеющая сталь 304, ковар, стекло, кремний, никель, алюминий, SiO 2 , Si 3 N 4 , золото, Viton® , эпоксидная смола с низким газовыделением, припой, RO4305 |
| Предел избыточного давления | 4 бар абс. |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0,5–9,5 В постоянного тока (1 В на декаду) |
| Цифровая связь | РС-232 РС-485 |
| Электрическое подключение | 9-контактный штекер D-sub: только серия BVT120 15-контактный штекер HD D-sub 15-контактный штекер HD D-Sub / двойной аналоговый выход 6-контактный Hirschmann, разрешение ID 3K: только серия BVT120 6-контактный Hirschmann, разрешение ID 5.1K: только серия BVT120 6-контактный Hirschmann, разрешение ID 9.1K/11.1K: только серия BVT120 8-контактный RJ45 / FCC68, ID Res 27K: только серия BVT120 8-контактный RJ45 / FCC68, ID Res 36K: только серия BVT120 8-контактный RJ45 / FCC68, ID Res 43K: только серия BVT120 |
| Электропитание/потребление | 350 мВт (макс.) |
| Сертификаты/разрешения | |
| EMC | Директива ЕС 2015/863 Директива по электромагнитной совместимости 2014/30/ЕС |
Характеристики
| Модель | VersaTorr BVT200 |
